一、产品概述

1、主要用途及应用范围：

►可用于沉积金刚石涂层厚膜，直径200毫米的基片上厚度可达到毫米级；

►可用于沉积刀具涂层，例：纳米金刚石涂层、微晶金刚石薄膜、DLC等；

►可用于沉积模具涂层，例：拉丝模、紧压模等；

►可用于开发导电涂层应用，例：防腐蚀电极等；

►可用于制备掺硼金刚石电极、BBD电极、金刚石电极等；

2、产品优点及特点：设备技术先进，真正实现产业化应用；适合工业化生产金刚石厚膜、类金刚石膜等。已应用于国内多家生产企业金刚石的生产线；适合大尺寸片状多晶金刚石厚膜，切削刀具、钻头、丝锥等表面生长纳米级金刚石薄膜等；加上自主开发全自动控制系统可实现一体化操作；保证产品镀膜性能连续稳定。

二、技术参数