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                                                              有机蒸发源                                                              


                                                                                 金属蒸发源

金属蒸发源.png


一、产品特点 / 用途

 1. 技术先进、设计优化,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;

 2. 适用于蒸发镀膜磁控溅射与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接,广泛用于钙钛矿太阳能电池 /OPV 有机太阳能电池及 OLED 薄膜等研究系统等。

二、技术参数

设备型号

ZHDS400

镀膜方式

金属 + 有机蒸发

真空腔室结构

SUS304 方箱式,配有前、后门

真空腔室尺寸

L400mm×W440mm×H450mm

加热温度

室温 -300℃(选配)

基片台尺寸

 

抽屉式 :120mm×120mm

可旋转、升降、水冷

膜厚不均匀性

≤ ±5.0%

蒸发源

金属 2 组 + 有机 4 组或更多;有机配

温控式加热电源,金属电源国产或进口

晶振膜厚监控仪

国产或进口 多探头可选

控制方式

PLC/PC 控制 ( 可选 )

占地面积

L2500mmxW1600mmxH1900mm

( 不含手套箱 )

总功率

≥ 10kW 三相五线制