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一、产品概述
1、适用:大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
2、产品特点/用途:
► 设备一体化设计,占地面积小,价格优惠,性能稳定,使用维护成本低;
► 设备配备4~6组蒸发源,兼容有机蒸发与无机蒸发,多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜,功能强大,性能稳定;
► 适用于实验室制备金属单质膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;
► 适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接,广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等。
二、技术参数
型号 | ZHDS400 |
镀膜方式 | 多源蒸发镀膜 |
真空腔室结构 | 方箱式前后开门;配置手套箱 |
真空腔室尺寸 | L400×W440×H450mm |
加热温度 | 室温~300℃ |
旋转基片台 | 120mm×120mm |
基片台升降 | 手动调节升降高度0~80mm |
膜厚不均匀性 | ≤±5.0% |
蒸发源 | 2组金属源,2~4组有机源 |
控制方式 | PLC/PC自动控制系统可选 |
占地面积 | 主机L1100×W550×H1800mm,手套箱尺寸定制 |
总功率 | ≥10KW |