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热丝CVD金刚石膜沉积设备 HF600


一、产品概述

1、适用范围:适合于各单位实验室、高等院校实验室、教学等的项目科研、产品中试之用。

2、产品优点及特点:设备采用热丝化学气相沉积技术,已应用于国内多家用热丝法生产金刚石的生产线上。该设备已生产出大尺寸片状多晶金刚石厚膜,填补了国内空白,并获得了非常可观的经济效益。该系列设备适合于工业化生产也非常适合于科研、教学和产品中试之用。

3、主要用途:用于生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等。在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积金刚石薄膜。

 

二、技术参数

型号 HF600
真空腔室结构 立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷
真空腔室尺寸 Φ600×H500mm
基片台尺寸 Φ200mm
衬底温度 600~1100℃
电源 DC
控制方式 PLC控制/工控机全自动控制可选
占地面积 主机L1700×W1080×H1900mm
总功率 ≥50KW