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一、产品概述

1、主要用途及应用范围:

可用于沉积金刚石涂层厚膜,直径200毫米的基片上厚度可达到毫米级;

可用于沉积刀具涂层,例:纳米涂层、DLC等;

可用于沉积模具涂层,例:拉丝模、紧压模等;

可用于开发导电涂层应用,例:防腐蚀电极等。

2、产品优点及特点:设备技术国内领先,真正实现产业化应用上填补了国内空白;适合工业化生产金刚石厚膜、类金刚石膜等。已应用于国内多家生产企业金刚石的生产线;适合大尺寸片状多晶金刚石厚膜,切削刀具、钻头、丝锥等表面生长纳米级金刚石薄膜等;加上自主开发全自动控制系统可实现一体化操作;保证产品镀膜性能连续稳定。

 

二、技术参数

型号 HF600
真空腔室尺寸 Φ600×H500mm
真空系统 国产或进口扩散泵+机械泵高真空系统
极限真空 优于8.0×10-4Pa
工件台尺寸 Φ200mm
衬底温度 600℃~1100℃,可调可控
配置 耐高温电极、偏压、红外测温仪可选
系统 全自动控制系统,个性化的Tech-Coating控制菜单,安全保护系统
占地面积 长×宽:2m×1.5m