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12种化学气相沉积(CVD)一定有你不知道的

2024-04-22 点击数:

CVD()广


:(Si3N4)


使CVDCVD


使(1600Pa)


广


CVD


CVD


CVD使2000600-1000


cba36ad32a104629b7af1588c836874.png


HDP-CVD  ICP HDP-CVDICP-CVDPECVDHDP-CVD HDP-CVD  ICP-RIE



HDP CVDPECVD0.80.8PECVDHDP CVD


MPCVDMPCVD


MPCVD


MPCVDMPCVDElectron Cyclotron Resonance CVDECR-MPCVDCVD使使MPCVDCVD广


UHV/CVD


208010-6 Pa (10-8 Torr) UHV/CVDUHV/CVDUHV/CVDSi,


-使()使


(Low-pressure CVDLPCVD)133PaCVDLPCVD133Pa使使5~10mm


LPCVDLPCVD广LPCVD广LTO TEOSSi3N4LP-POLYBSG(BPSG)


(TCVD)广TCVD


1.


21000-1050


3SiGaAsInP


HTCVD使2000~2300


MTCVD20802090HTCVDMTCVD