钙钛矿型太阳能电池主要由导电玻璃基底(FTO、ITO)，电子传输材料(ETM)，钙钛矿材料，空穴传输材料(HTM)以及对电极(Au、Ag、Al等)等几部分组成。

钙钛矿电池的器件结构可以分为介孔结构和平面异质结两类，其中，平面异质结可以进一步分为p-i-n结构和n-i-p结构。介孔结构由FTO电极、致密TiO2层、TiO2多孔层、钙钛矿吸收层、空穴传输层、Au电极组成。平面异质结是由一层钙钛矿吸收层夹在电子传输层和空穴传输层之间构成。

北京泰科诺科技有限公司有ZHD300/400/S400系列热蒸发镀膜设备，JCP200/350/S400/500/Y500系列磁控溅射镀膜设备，TEMD500/600/S500/S600系列电子束蒸发镀膜机；具体应用在钙钛矿太阳能电池制备中如下：（备注：S指带手套箱；Y指带进样室）

导电玻璃基底：FTO（掺氟氧化锡SnO₂：F）、ITO（掺锡氧化铟In₂O₃：Sn）；主要应用到的设备是磁控溅射设备JCP350/S400/500/Y500和电子束蒸发镀膜设备TEMD500/600/S500/S600。

电子传输材料（ETM）：无机电子传输材料—TiO₂、ZnO、SnO₂、WOx、In₂O₃和有机电子传输材料—富勒烯(C60、C70)及其衍生物(PC61BM、PC71BM)；主要应用到的设备是磁控溅射设备JCP350/S400/500/Y500和电子束蒸发镀膜设备TEMD500/600/S500/S600制备材料例如TiO_2、Al₂O₃等等。

钙钛矿材料（Perovskite）：有机 -无机杂化的材料ABX3；主要应用到的设备热蒸发镀膜设备ZHD400/S400制备CH₃NH₃PbI₃。

空穴传输材料(HTM)：有机空穴传输材料—掺杂锂盐和吡啶衍生物spiro-OMeTAD、PEDOT:PSS、PTAA、P3HT和无机空穴传输材料—CuI、CuSCN、CuOx 、 NiOx、MoOx、VOx。

对电极：金Au、银Ag、铝Al等等；主要应用到的设备ZHD300/400/S400系列热蒸发镀膜设备，JCP200/350/S400/500/Y500系列磁控溅射镀膜设备，TEMD500/600/S500/S600系列电子束蒸发镀膜机。

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